直線電機(jī)在液晶基板薄膜紋路檢驗、修復(fù)裝置用

作者:Mosen摩森機(jī)電 日期:19/02/20 10:44 瀏覽:298

檢驗液晶基板內(nèi)幾十um厚度的薄膜紋路,根據(jù)需要用激光照射來清除微小紋路的修復(fù)系統(tǒng)。可加工大型液晶基板,設(shè)備整體為龍門式結(jié)構(gòu)。另外,在加工頭上裝有高倍攝像頭,用于確認(rèn)加工情況。


直線電機(jī)的應(yīng)用

  • 直線電機(jī)以及間距誤差修正帶來的高剛性龍門驅(qū)動

  • 增益調(diào)整功能同時確保加工時(低速)的XY直線插補(bǔ)的軌跡準(zhǔn)確,以及快進(jìn)(高速)時的穩(wěn)定性。

  • 加工時的魯棒干擾控制功能可抑制電纜干擾引起的速度波動


直線電機(jī)平臺YYX軸

雅科貝思直線電機(jī)平臺





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