檢驗液晶基板內(nèi)幾十um厚度的薄膜紋路,根據(jù)需要用激光照射來清除微小紋路的修復(fù)系統(tǒng)。可加工大型液晶基板,設(shè)備整體為龍門式結(jié)構(gòu)。另外,在加工頭上裝有高倍攝像頭,用于確認(rèn)加工情況。
直線電機(jī)的應(yīng)用
直線電機(jī)以及間距誤差修正帶來的高剛性龍門驅(qū)動
增益調(diào)整功能同時確保加工時(低速)的XY直線插補(bǔ)的軌跡準(zhǔn)確,以及快進(jìn)(高速)時的穩(wěn)定性。
加工時的魯棒干擾控制功能可抑制電纜干擾引起的速度波動